俄罗斯仍有5台ASML光刻机可用 俄罗斯目前仍然可以通过一些途径进口硅晶圆自俄乌冲突爆发以来,俄罗斯受到许多国家和地区的制裁,限制了各种半导体芯片和设备的进口。这也迫使俄罗斯增加了对自主研发和本地芯片制造的投资,但它仍然面临着设备、材料和许多瓶颈。然而,据外国媒体报道《The Insider》据报道,俄罗斯仍可以通过一些方式从台湾进口硅晶圆(半导体硅片)和其他商品,这是制造芯片所必需的原材料。

基于军事需求的芯片制造能力

自2022年2月俄乌冲突爆发以来,美国、欧盟、日本、新加坡、韩国、台湾等地相继发布了对俄罗斯半导体的出口管制,希望通过阻断半导体供应来降低俄罗斯的军事实力。尽管俄罗斯缺乏生产高性能、商业可行的微芯片的现代技术,但这并不意味着当地制造商不知道如何生产半导体芯片。旧的芯片生产技术早在苏联时代就已经开发出来了。俄罗斯仍有5台ASML光刻机可用 俄罗斯目前仍然可以通过一些途径进口硅晶圆

例如,根据光刻专业人员Denis 据史蒂芬介绍,俄罗斯企业史蒂芬已经掌握了大规模生产中的180nm技术和单件生产中的90nm技术。对于90nm工艺,史蒂芬使用意大利半导体光刻设备。史蒂芬的民用产品仅限于储蓄卡和护照芯片,年产量达到40亿次微芯片。

正如Shamiryan所回忆的那样,俄罗斯还计划在莫斯科泽列诺格勒的Angstrem-T生产芯片,使用130nm和90nm技术。2000年代末,Angstrem-T从位于德累斯顿的AMDFab36工厂购买了一条完整的ASML生产线。然而,由于Angstrem-T在2019年被宣布破产,这些计划从未实现。然而,另一个名为Angstrem(去掉T)的泽伦格勒实体生产了一系列微芯片。

△俄罗斯伊斯坎德尔导弹Angstrem微芯片与西方芯片在同一主板上

Shamiryan还指出,俄罗斯Rusnano集团的Crocus Nanoelectronics工厂成功建立了65nm工艺,主要目的是生产MRAM内存,但它只能完成一半的生产周期,仍然必须依靠外国供应,但最终由于制裁工厂被迫关闭

俄罗斯现有的微芯片生产设施主要服务于军事需求。例如,俄罗斯芯片制造商Epiel主要在莫斯科附近的泽列诺格勒开拓市场,并将自己定位为俄罗斯芯片制造的延伸和增长(epi)领导者在这个过程中。俄罗斯仍有5台ASML光刻机可用 俄罗斯目前仍然可以通过一些途径进口硅晶圆

根据Epiel最新的公开财务报告,该公司2020年的收入接近700万美元。Epiel主要供应直径100mm、虽然最先进的现代技术是300nm晶圆,但150mm和200mm晶圆。今年,Epiel从俄罗斯工业和贸易部获得了数十万美元的政府合同,并向合资企业NZPP签订了合同 Vostok(“新西伯利亚半导体设备厂”)为终端制造商提供加工的晶圆生产现成芯片。

根据最新的公共采购数据,NZPP 主动与Rosatom实体Kostok.a.Volodin仪器制造商(联邦国家统一公司)合作,后者专门生产核弹。而NZPPP则 Vostok工厂仍在生产64 K bit的存储芯片,至少直到最近,工厂还向Rybinsk的Luck Design Bureau等军事公司出售价值数百万卢布的芯片,主要开发包括无人机在内的军用装备。

Epiel的另一位客户是沃罗涅日的电子设备研究所,这是克里米亚的Fiolent军事工厂,Sozvezdie Concern(为武装部队制造电子战、通信和控制系统)以及罗斯塔姆的Volodin仪器制造商提供产品。

目前的记录还显示,Epiel与前电子厂Pulsar合作,Pulsar为军方制造微波设备、晶体管和微芯片。Epiel也执行了 N.L. Dukhov All-Russian Research Institute of Automation(N.L. 杜霍夫全俄自动化研究所)合同,该研究所开发核弹头。Epiel地址和Sitronicss,据说属于Mikron公司 Smart Technologies地址一致。此外,Epiel与Mikron和俄罗斯分子电子研究所共享办公空间。因此,可以合理假设Epiel属于同一集团公司。

俄罗斯制造的微芯片在武器中的具体应用包括1890VM6YaCpu及其在战斗机Baguete飞行控制计算机中的组合。俄罗斯仍有5台ASML光刻机可用 俄罗斯目前仍然可以通过一些途径进口硅晶圆

俄罗斯目前有5台老式ASML光刻机

对俄罗斯来说,独立制造芯片离不开关键的半导体设备,尤其是光刻机。目前,世界上唯一波长193nm(深紫外线)的DUV光刻机供应商是ASML、尼康和佳能,而13.5nm(“极紫外线”,接近X射线范围)波长的EUV光刻机只能由ASML制造。

ASML发言人向Thetheth Insider证实,ASML从未向俄罗斯销售过大量设备。自2014年以来,只有价值5000万美元的ASML品牌光刻机进口到俄罗斯。虽然5000万美元看起来很值钱,但它甚至买不到EUV光刻机。

ASML宣布,俄罗斯只从第三国进口旧设备。乌克兰出版物《真理报》在一定程度上证实了这一评估。据报道,截至2022年,俄罗斯共有5台波长365至193纳米的ASML光刻机(均为PAS) 5000系列)正在运行,都位于俄罗斯系统分析科学研究所,Mapper、Zelenograd纳米技术中心和Mikron。

俄乌战争全面爆发后,台积电停止了对俄罗斯芯片的OEM。因此,俄罗斯不得不依靠现有的进口半导体设备在中国制造自己的芯片。虽然俄罗斯有五台ASML设备在运行,但它们非常过时,甚至有15-20年的历史。

在这方面,ASML表示,它并没有为俄罗斯的光刻设备提供维护服务,但仍有许多相关部件在制造商无法控制的二级市场上流通。

需要指出的是,除了在制裁前进口的少数西方光刻机外,俄罗斯制造商还可以从明斯克的Planar工厂获得光刻机。这些光刻机在350nm波长下工作,最小特征尺寸为500nm,代表了1995年出现的一种技术,但到1999年已经过时。